基本情報
| ブース | X0026 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | en.futongquartz.com |
会社概要
Zhejiang Futong Quartz New Material Co., Ltd. は2010年に設立され、石英製品と石英加工部品を製造しています。本社は浙江省湖州市南潯にあり、自社建設の28,000平方メートルの工場、石英加工設備、技術スタッフ、クリーンルーム資源を備えるとしています。専門的な石英メーカーとして、半導体チップ製造、太陽光発電、光通信、医療機器、照明、化学、航空宇宙分野に対応すると説明しています。製造に高純度石英材料を使用し、カスタム石英製品を提供しています。その事業は、石英材料加工、専用製造資源、カスタム製品能力を組み合わせ、厳しいプロセス条件で石英部品を必要とする複数産業を対象としています。石英材料加工と専用製造資源を一体として扱う事業構成です。
展示製品
石英製品の供給範囲は、拡散工程、CVD 工程、エッチング工程、洗浄工程を含み、具体的な製品として石英ボート、石英炉管、石英ドアを挙げています。半導体用石英管は、半導体製造における拡散、酸化、アニール、気相成長などの高温工程向け中核管状部品です。半導体グレードの高純度石英で作られ、金属不純物含有量が極めて低く、高温条件でもイオン溶出がありません。超低熱膨張係数を備え、1200°Cを超える温度に継続して耐え、冷熱交互サイクルによる亀裂を抑える熱衝撃耐性を持ちます。石英エッチング洗浄槽は、ウェハのエッチングと洗浄工程に用いる専用中核容器です。強酸、アルカリ、腐食性エッチング薬品に耐え、高温耐性、低イオン溶出、高い清浄度を備えます。半導体用石英ボートは、ウェハの拡散、酸化、アニール、LPCVD などの高温工程で中核搬送治具として使用されます。追加の製品例には、石英スツール、合金ボート、加熱装置、仮保持具、石英タンク、石英リング、ウェハボート、石英プレートが含まれます。6月の会社紹介ではカスタム石英製品にも言及し、標準的な製品名以外にも供給範囲を広げています。これらの製品は、高純度石英を用い、耐熱性、耐薬品性、低汚染性、半導体ウェハや関連部品の安定保持が必要な工程環境に対応します。拡散・CVD 分野では高温処理用の石英炉管や石英ボート、エッチング・洗浄分野では石英洗浄槽などの石英容器が対応製品となります。石英ドア、石英タンク、石英リング、ウェハボート、石英プレートにより、半導体およびその他の石英加工用途向け部品の範囲がさらに広がります。高純度材料、カスタム加工、多様な石英部品形状を組み合わせ、半導体チップ製造を含む高技術産業への対応を支えています。
対応領域・製品
- 半導体用高純度石英管（連続耐熱 >1200°C）
- 石英エッチング・洗浄槽
- ウェハ高温工程用石英ボート
- 石英炉管・石英炉ドア