基本資料
| 攤位 | S7844 |
| 國別 | TW |
| 網站 | www.wonikqnc.com/en/business/quartz.php |
公司簡介
台灣圓益石英股份有限公司專精於半導體製程關鍵石英器皿的製造與維護服務，並以跨國半導體材料供應商身分參與台灣半導體供應鏈。WQT 是 WONIK 第一家海外子公司，成立於 1996 年，據點位於台灣半導體產業核心區域 Shin Chu Science Base Park。WQT 整合韓國總部的技術與系統，並持續拓展台灣、中國與東南亞市場。隨著 WQT 拓展台灣及鄰近亞洲市場，台灣主要 device makers 是其重要客戶。WQT 有 242 名員工，銷售額為 KRW 72.6 billion（TWD 1.6 billion），主要銷售項目為 semiconductor quartz ware。WONIK 的石英全球網路亦包括位於美國的 WONIK Quartz International Corporation；該公司於 2005 年透過收購 Saint-Gobain 的 QI Business Division 擴大業務，並服務聚集主要 IC makers 與 semiconductor equipment manufacturers 的美國市場。美國業務在半導體市場服務北美重要企業客戶。WONIK Quartz Europe 位於德國，包含前身 WQS 時期在內已有超過 50 年歷史，生產 Diffusion、CVD、RTP 等產品，以因應歐洲半導體需求多樣化，客戶涵蓋歐洲半導體與太陽能產業的 device manufacturers 與 equipment manufacturers。位於中國 Xi'an 的 WONIK QnC Xian 提供半導體設施與零組件的清洗及維護，2019 年建置第二座工廠以提升產能，並因應半導體設備與零組件維護需求新增 coating 能力。Xi'an 業務涵蓋 Qtz、IMP、ETCH、Diff、CMP 等製程所使用設備與零組件的清洗，並結合 maintenance 與 coating 能力。位於 Austin 的 Wonik QnC America Corp. 專精於半導體設備零組件，為全球半導體製造商使用的 chamber 與相關設備提供 cleaning、coating、refurbishment 與 fabrication 服務。Austin 業務於 2023 年被 Wonik QnC 收購後，持續運用半導體零組件維護與工程能力回應客戶技術需求，其主要服務並列有 semiconductor chamber kits & components 的 cleaning、refurbishment 與 fabrication。
展出產品
針對 oxidation、diffusion 與 CVD 製程，台灣圓益石英股份有限公司供應 8"-12" quartz ware，包括 Process Tube、Reactor Tube、Outer Tube、Inner Tube、Liner Tube 等 quartz tubes，以及 Vertical Boat、Horizontal Boat、Ring Boat、Finger Boat 等 quartz boats。同一製程產品還包括 Fin Pedestal、Cap Pedestal 與 Cap Base，SWP quartz ware 則包括 Chamber、Dome 與 Shower Head。Plasma etching 用 quartz 產品包括 Shield Ring、Focus Ring、Shadow Ring、Wap Ring 與 Twist Lock。公司向全球主要半導體企業供應 quartz ware，並在台灣與德國設有在地生產設施。其技術開發涵蓋 quartz ware fine processing、welding assembly 與 cleaning，目標是處理半導體製造 chamber 因 plasma density、etching gas 與 device 變化而造成的零組件 particle、lifetime 與 contamination 問題。
能力與產品項目
- 半導體石英管製造（製程管、反應管、內外管與襯管）
- 石英晶舟製造（垂直、水平、環式與指式）
- 石英基座製造（鰭片型、蓋式與基座蓋）
- SWP 石英腔體製造
- SWP 石英圓頂製造
- SWP 石英噴淋頭製造
- 電漿蝕刻用石英屏蔽環製造
- 電漿蝕刻用石英聚焦環製造
- 電漿蝕刻用石英遮罩環製造
- 電漿蝕刻用石英 Wap Ring 製造
- 電漿蝕刻用石英旋鎖件製造
- 半導體石英器件維護
- 半導體石英器件精密加工
- 半導體石英器件焊接組裝
- 半導體石英器件清洗