基本情報
| ブース | M0358 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.ushio.com.tw |
会社概要
Ushio Taiwan, Inc.はUshioグループの台湾拠点で、産業用途の光源技術と光学技術を中心とする製品・技術ポートフォリオを展開しています。 グループは新しい光源と自社開発の光学技術を、照明だけでなく、先端産業および科学技術向けのエネルギーとしても利用しています。 半導体関連製造では、光学技術をウエハー露光装置と、露光プロセスに適した紫外線波長へ具体的に結び付けています。 製品情報は製品カテゴリ、機能・用途、産業、波長から検索でき、光技術が複数の産業環境で使われる構成を示します。 同社は製品情報と並んで半導体展示会関連の情報も掲載し、光源・露光技術を半導体産業の文脈で提示しています。
展示製品
Ushio Taiwan, Inc.はUX-4シリーズをウエハー用レンズ式一括投影露光装置として提供し、一般照明ではなくウエハー露光に用途を明確化しています。 UX-44101SCBとUX-45114SCBは、LED光源を搭載したUX-4シリーズのウエハー用レンズ式一括投影露光装置です。 同社はUX-44101SCBとUX-45114SCBの受注を正式に開始したとしており、2機種はLED光源を備えた具体的なウエハー露光製品です。 UX-45114SCもUX-4シリーズの新しいウエハー用レンズ式一括投影露光装置で、販売開始が示されています。 露光製品群は、露光プロセスに最適とされる紫外線波長と組み合わされ、光源選択をプロセス要件に直接結び付けます。 UX-4の各機種と紫外線波長の考え方を合わせることで、専用露光装置に光源を組み込んだウエハー露光プロセス向けUV光源ソリューションを構成します。 より広い製品範囲には印刷用UV-LEDと固体光源もあり、紫外線・固体光源技術をウエハー露光以外の産業用途へ拡張します。 LED/LD光加熱ソリューションは光エネルギーの別の産業利用を担い、照明・ディスプレイウォール製品は同じ光学ポートフォリオの照明・表示領域を担います。 Care222は、有人空間でcoronavirusを含むウイルスを不活化できる紫外線技術としてUshio Taiwan, Inc.が紹介しています。 Care222は従来の紫外線サニタイザーと同様に細菌とウイルスを不活化しながら、人がいる環境でも使用できると説明されています。 Care222は単独の除菌システムではなく、新しいUV light disinfecting systemsで使われる重要なコンポーネントとして位置付けられています。 このためポートフォリオには、ウエハーへ光を照射する露光システムと、Care222を構成要素として使う除菌システムという2つの異なる紫外線機器用途があります。 全体としてUshio Taiwan, Inc.は、UV光源と光を適用・制御する機器を組み合わせ、露光、除菌、印刷、加熱、照明、表示の用途をカバーします。
対応領域・製品
- LED光源搭載ウエハー用レンズ式一括投影露光装置
- 有人空間向け紫外線除菌光源部品（Care222）