基本資料
| 攤位 | R7205 |
| 國別 | TW |
| 網站 | unicrown-tw.com |
公司簡介
郁冠工業有限公司為半導體設備產業提供高品質、高效率的真空與壓縮空氣解決方案，並重視真空與壓縮空氣技術在半導體製造中的關鍵作用。產品包括 DC pumps、無油真空幫浦、無油空壓機與 blowers，設計用以符合半導體製造產業的嚴格要求。其無油技術與先進加工可帶來高效率、低噪音與長壽命。郁冠工業有限公司透過具技術能力的人員提供客製化解決方案，依客戶需求調整產品與服務，包括製程改善與設備升級。產品已取得歐洲 CE 認證，並廣泛出口至美國、歐盟、俄羅斯、日本、中東與亞太地區。
展出產品
無油真空幫浦專為工業自動化與智慧製造設計，適用於無塵室與高潔淨環境；幫浦採用不依賴油類潤滑的乾式技術，可避免運作中產生污染物，適合半導體、精密電子製造與工業生產中對真空純度要求高的應用，其穩定性與低維護需求也有助提升生產效率並降低維護成本。真空配件包括真空過濾器、調壓過濾器、FRL 三點組合與油霧過濾器，可用於真空與空氣系統；真空過濾器可防止塵粒進入並維持系統穩定，調壓過濾器可精確控制氣壓並提升操作精度，FRL 三點組合整合過濾、調壓與潤滑以確保氣源系統整體運作效率，油霧過濾器則可濾除油霧並提升系統壽命與性能；這些配件適用於各類真空與氣體系統。晶圓搬運系統以真空吸附固定晶圓，空壓機驅動機械手臂或傳送模組進行精準移動與定位，推薦型號為 UN-90V、UN-120V、UN-200V、UN-90P、UN-120P、UN-200P；光刻設備以真空固定並穩定晶圓，空壓系統驅動氣動控制元件，推薦型號為 UN-120V、UN-150V-B、UN-200V、UN-120P、UN-200P。蝕刻設備由真空幫浦排除反應氣體並維持低壓環境，空壓機支援氣體控制與設備動作，推薦型號為 UN-280VQ、UN-300V、UN-350V、UN-180P、UN-200P；薄膜沉積設備由真空幫浦維持穩定低壓，空壓系統提供氣體流量與設備控制，推薦型號為 UN-300V、UN-400V、UN-400VH、UN-200P、UN-350P。真空乾燥設備透過降低壓力加速去除水分與揮發物，空壓機控制閥體與系統運作，推薦型號為 UN-280VQ、UN-300V、UN-400V、UN-120P、UN-200P；封裝與貼裝設備以真空吸附取放與定位晶片或元件，空壓機驅動氣動夾具與貼裝頭，推薦型號為 UN-90V、UN-120V、UN-150V-B、UN-90P、UN-120P。測試與檢測設備由真空系統提供穩定吸附，空壓控制測試治具與機構運作，推薦型號為 UN-90V、UN-120V、UN-200V、UN-90P、UN-120P；Load Lock 系統由真空幫浦快速抽氣建立穩定環境，空壓機控制閥門與氣動元件，推薦型號為 UN-300V、UN-350V、UN-400VH、UN-200P、UN-350P。相關產品包括 UN-25D 真空幫浦，真空 600mmHg、壓力 1.5kgf/cm2、流量 40LPM；DC-4.5VD 微型空氣幫浦，真空 450mmHg、壓力 0.9kgf/cm2、流量 3.2LPM、馬達壽命 1200hr；UN-90P 無油空壓機，壓力 7kgf/cm2、流量 90LPM；以及 OLD-20-VD 高真空幫浦，真空 3×10-1pa、流量 142LPM。
能力與產品項目
- 無油真空幫浦
- 無油空壓機
- 半導體用鼓風機
- DC 幫浦
- 真空過濾器／調壓過濾器／FRL／油霧過濾器
- 高真空幫浦
- 蝕刻設備真空與空壓系統
- 薄膜沉積設備真空與空壓系統
- Load Lock 真空與空壓系統