기본 정보
| 부스 | J2656 |
| 국가 | TW |
| 웹사이트 | www.tokyokeiso.co.jp/english/products/category.html?catid=212 |
회사 소개
Tokyo Keiso는 반도체 제조 장비, 약액 시스템 및 초순수 시스템용 유량계와 유량 컨트롤러를 제공하며, 불소수지 접액식 초음파 유량계와 컨트롤러를 포함합니다.
전시 제품
반도체 공정 라인업에는 소유량 초순수 및 약액용 초음파 유량계와, 약액, DIW 및 슬러리 유량 제어를 위해 초음파 유량계, 제어 밸브 및 제어 회로를 통합한 CLFC300 시리즈가 포함됩니다.
역량 및 제품
- 반도체 장비용 유량계 및 유량 컨트롤러
- 불소수지 초음파 유량계
- 약액·DIW·slurry 유량 제어