基本情報
| ブース | S7758 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.gdnano.com |
会社概要
SuZhou Guangduo Micro, Nano Devices Co., Ltdは2011年に設立され、ナノインプリント装置および技術の研究開発、産業化、応用に取り組み、ナノインプリント装置、材料、プロセス方案、技術サポートを含む一体的なソリューションを提供しています。2016年には中国国内初の全自動量産型ナノインプリント装置を投入し、その後LED-PSS分野で約100%に近い市場シェアを持つと自社説明で述べています。装置開発はAR、ウエハレベル光学、メタレンズ、ディスプレイ、生体チップ関連のマイクロ・ナノ加工まで広がり、研究開発用と量産用の装置を複数展開し、複数の主要メーカーへの出荷実績を示しています。蘇州工業園区には研究開発設備とクラス100実験室を設け、顧客にナノインプリント向けの装置方案とプロセス支援を提供しています。常熟にはクラス100クリーンルームを設け、全自動洗浄装置、インプリント装置、ステップ・アンド・リピートの拼版装置、エッチング装置、SEM、AOI、共焦点装置などを備え、マスター加工と受託加工サービスに対応しています。SuZhou Guangduo Micro, Nano Devices Co., Ltdは、国家級人材事業で招聘された人材によって設立され、設立後に国家級、江蘇省、蘇州市の各政府から支援と助成を受け、マイクロ・ナノ製造技術分野のハイテク企業であるとしています。会社情報には登録資本金約1,800万元、従業員約80人と記載され、製品・サービス体系は装置、消耗品、プロセス研究開発サービス、マイクロ・ナノデバイス加工サービスを含みます。
展示製品
ナノインプリント装置のナノインプリント装置として明示された製品ラインには、ハードプレートインプリント装置、全自動ナノインプリント装置、ナノインプリント拼版装置、熱プレス・紫外一体型ナノインプリント装置、紫外ソフトスタンプ式ナノインプリント装置、ローラー式紫外ナノインプリント装置が含まれます。複数種類のナノインプリントシステムを研究開発・製作し、それぞれに関連するプロセスと消耗品も合わせて提供しており、全自動量産型ナノインプリント装置は産業化が進展した製品として示されています。LED製造では、この全自動量産型装置がLED産業でステッパー露光装置の産業的代替を実現したと説明されています。ARおよび微細構造光学デバイスの製造向けには、ARグレーティングと微細構造光学デバイス製作に適した複数の量産型ナノインプリント装置を提供します。ナノインプリント工程そのものに加え、マイクロ・ナノ構造デバイスのドライエッチング加工能力も示し、ナノインプリント装置、材料、プロセス方案の供給範囲を後工程にあたる微細構造加工まで広げています。より広い用途はLED-PSS、AR、ウエハレベル光学、メタレンズ、ディスプレイ、バイオチップを含み、研究開発装置と量産装置の双方で異なるマイクロ・ナノ加工要求に対応します。常熟のクラス100クリーンルームでは、洗浄、インプリント、拼版、エッチング、SEM、AOI、共焦点装置を用いてマスター加工と受託加工を支援し、顧客は単体の装置供給だけでなく、マスター加工および受託加工のサービスも利用できます。製品サイトではプロセス研究開発サービスとマイクロ・ナノデバイス加工サービスもカテゴリーとして掲げ、装置・消耗品にプロセス開発と受託加工支援を組み合わせています。明示された供給範囲は、ナノインプリント装置の研究開発・製造、ナノインプリント材料とプロセス方案、全自動量産装置、ARグレーティング量産装置、ドライエッチング、マスター加工、マイクロ・ナノ加工のファウンドリサービスまでを含みます。
対応領域・製品
- 硬質モールドナノインプリント装置
- 全自動量産型ナノインプリント装置
- ナノインプリント用マスター面付け装置
- 熱・UV一体型ナノインプリント装置
- UVソフトフィルムナノインプリント装置
- ローラー式UVナノインプリント装置
- ナノインプリント材料・消耗品
- マイクロ・ナノ構造マスターの加工・受託加工
- マイクロ・ナノ構造デバイスのドライエッチング加工
- AR回折格子・微細構造光学素子用ナノインプリント装置
- ナノインプリントプロセスのソリューション・技術支援