基本情報
| ブース | G0011 |
| 国 | KR |
| 製品カテゴリ | Thermal Processing - Diffusion; Oxidation; Annealing; RTA; RTP Equipment |
| ウェブサイト | www.ytechsemi.com |
会社概要
ST Corporationは半導体分野で20年の経験を有し、半導体装置（特にRTP装置）に関する総合的なサービスを提供しています。さらに、半導体および一般産業分野における安全のため、各種の環境安全製品の開発・供給も行っています。その一つであるスポットタイプガス漏れ監視システム（Spot type Gas Leak Monitoring System, GLMS）は、韓国の大手半導体企業（H社）に納入・設置されています。ST Corporationは、挑戦の精神と進取の姿勢をもって、半導体分野の改善と安全に向けて引き続き尽力し、さらなる革新を遂げる企業となることをお約束します。
対応領域・製品
- GLMS サンプリングケース・配管・バルブ・ガスセンサー
- RTA・RTP 熱処理装置
- RTP 装置サービス
- スポットタイプガス漏れ監視システム (GLMS)