基本情報
| ブース | X0015 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.lasensor-tech.com/296.html |
会社概要
Shanghai Lasensor Photoelectric Technology Co., Ltd. は、上海光学精密機械研究所の光電計測・制御チームが10年以上の産学研経験を蓄積した後、2017年に設立され、Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics の研究成果を基盤として Jiading Zhongke Shenguang Industrial Park でインキュベートされました。同社はレーザー検出技術に基づく高精度、高効率、リアルタイムの計測・診断機器を研究開発・製造し、クリーンルームや装置の汚染管理向けに表面付着汚染物の検出を提供するとともに、レーザーセンサーによる浮遊粒子・微生物の迅速警報、サンプリングと迅速同定による微生物種の識別を行います。同社は、0.1 μm 粒子カウンターの完全なソリューション群を提供できる世界でも限られたメーカーの一つであり、計数効率は主要な国際粒子カウンターブランドに匹敵するとしています。創業チームには、国務院特別手当を受けた専門家、国家技術発明二等賞の受賞者、原理検証と製品開発の経験を持つ上級エンジニア、海外留学経験を持つ研究開発人材が含まれます。同社は、中国国内外のトップ学術誌に複数の専門論文を発表し、10件の発明特許認可を取得しているとし、製品の信頼性と安全な使用のためにコンプライアンスを重視しています。用途として、半導体、製薬環境、病院手術室、チップ工場、衛生監督、食品・化粧品製造、生物テロ対策、電子産業が挙げられ、製品はベトナム、タイ、マレーシア、シンガポール、イタリア、ベルギー、ニュージーランドへ輸出されています。Shanghai Lasensor Photoelectric Technology Co., Ltd. は、専門サービスと柔軟なカスタムソリューションも提供し、レーザー検出技術をスマートシティとインテリジェント製造の支援に位置付けています。 同社は中国の環境微生物検査分野をリードする企業と自らを説明し、製品が国内外市場で広く認知されているとしています。
展示製品
製品ラインには、SPC-110ST Surface Particle Counter、LPC-301H Handheld Particle Counter、LPC-510A Online Particle Counter、LPC-101A と LPC-110A Inline Particle Counter、100 L/min クリーンルーム監視向け LPC-S5100 Airborne Particle Counter、GLPC-101 Portable Compressed Gas Particle Counter、SWL-2 Real-time Viable Particle Counter、LPC-510B、LPC-301A remote laser dust particle counter、LPC-S110 Airborne Particle Counter、LPC-S101 Portable Airborne Particle Counter が含まれます。SPC-110ST 0.1 micrometer Surface Particle Counter は、装置と製品表面の 0.1μm および 0.5μm の静的粉じん粒子を検出し、表面汚染管理に使用されます。LPC-S101 は高清浄度環境と半導体監視向けに設計され、従来の 0.3 μm 検出限界を超えて 0.1 μm 超微粒子を監視し、フォトレジストのアウトガスや装置摩耗などから生じるサブミクロン汚染を捉え、ISO Class 1 を含む半導体、光学、製薬、航空宇宙の清浄度監視に対応します。LPC-S101 は ISO 21501-4 と GB/T 29024.4-2017 に適合し、最小 0.1 μm の粒径で粒子サイズと濃度を測定し、ISO Class 7 から ISO Class 1 の環境に対応し、半導体レーザー光源を用いて現場の清浄度監視を行います。インテリジェントデータ機能では、8チャンネルの粒子濃度をリアルタイム表示し、ISO 14644-1 清浄度分類レポートを自動生成し、時刻・場所タグ付きで最大100,000セットの測定データをローカル保存し、RS232 により SCADA/MES と統合して FDA 21 CFR Part 11 に関連する電子データ管理とトレーサビリティを支援します。LPC-S101 の仕様は、流量 2.83 L/min、粒径チャンネル 0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、1.0、5.0 μm、計数効率 0.1 μm で 50% ± 20%、0.15 μm で 100% ± 10%、指示誤差 ≤ ±20% FS、10% 計数損失時の最大濃度 35,000 particles/L、自己洗浄時間 ≤10 min、長寿命半導体レーザーです。さらに RS232 通信、≥100,000件の測定記録、内部流量を自動制御する内蔵ポンプ、約5時間連続動作するリチウム電池と AC 220 V アダプター、内蔵サーマルプリンター、316L ステンレス筐体、重量 3.6 kg、付属品を除く 200 mm × 180 mm × 160 mm の寸法を備え、動作環境は 5°C から 35°C、0 から 98% RH 結露なし、保管環境は −15°C から 60°C、0 から 98% RH 結露なしです。同社は30種類を超える製品を掲げ、LPC-S101 の用途として半導体、電子、光学、化学、食品、化粧品、製薬、ヘルスケア、バイオテクノロジー、航空宇宙を挙げています。 Shanghai Lasensor Photoelectric Technology Co., Ltd. は約 0.1 μm の超微粒子を先進製造における重大な潜在汚染リスクとし、1個の粒子でもトランジスタ欠陥やウェハ全体の使用不能につながる可能性があると説明しています。従来のカウンターはリソグラフィ、エッチングなどの重要領域でこうした粒子を見逃す可能性があり、LPC-S101 による早期検出がナノスケール汚染管理バリアの構築を支援するとしています。
対応領域・製品
- 0.1μm表面粒子計数
- ハンディ粒子計数
- オンライン粒子計数
- 0.1μm可搬型浮遊粒子モニタリング