基本情報
| ブース | R8023 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.nfort.com.tw/info.html |
会社概要
NFORT TECHNOLOGY CORPORATION は2007年に台湾の竹北市で設立され、国際的な先進技術を導入して台湾のハイテク産業へ提供することに注力しています。RF とイオン源の製品および技術支援を提供し、半導体、オプトエレクトロニクス、光学薄膜コーティング、パネル産業で長年活動し、顧客のプロセス効率と安定性向上を支援します。サービスには RF 装置と周辺部品の交換、修理、改造、および代理販売装置のアフター技術支援が含まれます。用途として半導体、オプトエレクトロニクス、光学薄膜コーティング、パネル、太陽電池を挙げ、Dry Etching、CVD、Sputter、IBAD を対象プロセスとしています。代理装置はイオン源、RF 電源システム、プラズマ診断・監視ツールにまたがり、専門的なアフター技術支援を組み合わせています。サービス内容には RF、DC、パルス、マイクロ波の各電源、プラズマリアルタイム監視システム、イオン源装置、ウェットプロセス装置が含まれます。NFORT TECHNOLOGY CORPORATION は中国、東南アジア、台湾全域を装置と支援のサービス地域として示しています。製品販売に加え、プラズマシステムの RF 最適化コンサルティングも提供し、電源製品の販売代理とプロセスレベルの技術支援を結び付けています。
展示製品
PPG（Plasma Process Group）は米国コロラド州ウィンザーに本社を置き、イオンビームスパッタリング（IBS）装置と部品を扱い、高要求の光学・精密コーティング用途向けに高性能イオン源と電源システムを提供します。PPG RF イオン源は 6 cm、12 cm、16 cm、23 cm の複数サイズ・構成があり、スパッタ、エッチング、アシストプロセスに対応し、精密コーティングなどの表面処理へ安定したイオンビームを提供します。PPG のイオンビームグリッドアセンブリはモリブデン、グラファイト、チタンなどの材質で、異なるイオン源サイズと要件に対応し、イオンビーム制御とビーム集束を支援します。PPG の技術支援にはトレーニング、保守、部品交換が含まれ、装置の稼働性能向上、ダウンタイム低減、プロセス安定性維持を支援します。PPG 製品は光学コーティング、半導体、LCD、太陽電池で使用され、イオン源と IBS 製品を複数のハイテクプロセス環境に展開しています。日本 ADTEC は高安定 RF 電源・マッチャ、DC 電源、マイクロ波電源、静的チャンバー特性測定器を提供し、プラズマプロセスに対応します。ADTEC の電源ソリューションは半導体、LCD、太陽電池、電子材料のプラズマプロセス向けで、安定性、リアルタイム制御、システム統合能力を重視しています。ADTEC の DC Power Supply はイオンスパッタなどの薄膜堆積プロセス向けで、精密な定電圧制御と過負荷保護を備えます。Microwave Power Supply はマグネトロンと組み合わせ、高密度プラズマや特定の表面処理プロセスに使用できます。ADTEC の RF 製品には TXR、TXL、TXM、TXH などの TX シリーズ RF 電源、RF Matching Box、診断・監視ツールが含まれます。その他の代理ブランドには、ドイツ Plasmetrex のプラズマ源診断、フランス Sairem のマイクロ波発生器と RF 技術、米国 Altronic の RF Dummy Load 装置があります。NFORT TECHNOLOGY CORPORATION の主な改造・サービス・販売品目には RF Power Supply、RF Match Box、Dummy Load & Cable、Ion Sources & Kits、診断・測定・監視製品も含まれます。英語製品情報では診断・監視範囲として Plasma Real-Time Monitoring、Pulse Power と RF(CW) Power Measurement/Monitoring、Static Chamber Impedance Measurement を明示しています。NFORT TECHNOLOGY CORPORATION は海外の先進技術を地域のハイテク企業へ導入し、RF 製品の修理・改造・交換とプラズマシステムの RF 最適化コンサルティングも提供します。
対応領域・製品
- RF装置の交換・修理・改造サービス
- イオン源装置の代理・技術支援
- RF電源システムの代理・技術支援
- プラズマ診断・監視ツールの代理
- イオンビームスパッタリング(IBS)装置・部品の代理
- RFイオン源の代理
- イオンビームグリッド組立品の代理
- RFマッチャーの代理
- DC電源の代理
- マイクロ波電源の代理
- RF Dummy Load装置の代理
- プラズマシステムRF最適化コンサルティング