基本情報
| ブース | S8036 |
| 国 | JP |
| ウェブサイト | www.kuraray.com |
会社概要
株式会社クラレは日本の化学メーカーで、2026年に創立100周年を迎えます。先駆的な技術を用いて新たな事業分野を開拓し、幅広い産業にソリューションを提供しています。世界30以上の国と地域で事業を展開し、その活動を環境改善と生活の質の向上につなげる方針を示しています。半導体産業の課題に対しては、水処理、化学材料、ポリマー材料の三つを関連するソリューション領域として位置づけています。水処理では、中空糸膜と活性炭製品における長年の経験を基盤に、用途や要件に合わせた水処理システムを提案します。化学材料では、環境負荷の低減と労働安全性の向上を目的に開発したアルコール系溶剤を、既存洗浄プロセスの代替案として提供します。ポリマー材料では、半導体分野を含む多様な産業で使用されるPVA、PVB樹脂を扱い、独自の材料技術を生かして用途に適したソリューションを提案します。また、三分野の提供方法を具体的な用途要件に結び付け、水処理では長年の経験を基にシステムを提案し、化学材料では洗浄工程の代替案を示し、ポリマー材料では材料技術を用途別提案に活用します。
展示製品
AQUAVICSUS™ GLは半導体分野の排水リサイクル向け中空糸膜モジュールで、CMP、各種洗浄、バックグラインド、ダイシング工程から出る排水をろ過・再利用します。ドライエッチングなどで発生する有毒ガスを処理するabatement scrubberの排水も対象に含まれます。株式会社クラレは先進的な水浄化システム向けの高性能活性炭も提供し、これらの水処理製品は過酸化水素、クロラミン、遊離塩素、PFASなどの汚染物質に対応します。MMBは低臭、低毒性、生分解性を特徴とし、豊富な安全性データに支えられた環境配慮型溶剤材料です。MMBはレジスト剥離剤やクリーナーに使用でき、高性能材料の開発に寄与するとともに、既存洗浄工程の代替経路として提案されます。株式会社クラレのPVAは水溶性の合成高分子樹脂で、部分けん化から完全けん化まで120種類を超える製品ポートフォリオがあります。MOWITAL™ PVB binder resinは、プロセス安定性、歩留まり向上、品質再現性が求められる半導体・電子用途で使用されます。CMP padは半導体研磨パッドで、先端半導体製造のCMP工程に貢献する次世代の無孔パッドとして説明されています。性能項目として欠陥低減、step height reductionの改善、パッド寿命の延長、研磨安定性が挙げられています。これらにより、排水リサイクル・浄化、洗浄化学品、水溶性樹脂・バインダー樹脂、CMP研磨材料までを半導体製造向けにカバーします。化学ソリューションでは、このアルコール系溶剤を環境負荷の低減と労働安全性の向上を目的に開発し、既存の洗浄工程に対する代替材料として提案しています。ポリマー材料では、PVAとPVB樹脂を半導体分野を含む各種産業で使用される製品として示し、独自の材料技術を用途別提案に活用します。CMP padの製品ページではGeneral NameをSemiconductor polishing pad、Sales FormatをCMP padと記載しています。これらは半導体製造の各工程に対応する材料・処理ソリューションとして構成されています。
対応領域・製品
- 半導体排水リサイクル用中空糸膜モジュール
- CMP・洗浄・バックグラインド・ダイシング排水リサイクル
- 先進水浄化向け高性能活性炭
- 過酸化水素・クロラミン・遊離塩素・PFAS水処理
- MMBレジスト剥離・洗浄溶剤
- 水溶性PVA合成高分子樹脂
- MOWITAL™ PVB半導体用バインダー樹脂
- 先端半導体向け無孔CMP研磨パッド
- 用途・要件別水処理システム提案
- abatement scrubber排水リサイクル