基本情報
| ブース | K2476 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | www.kct.co.kr/eng |
会社概要
KC CO., LTD. は、半導体およびディスプレイ製造向けに特殊ガス供給装置と薬液供給装置を提供する韓国企業であり、半導体・ディスプレイ装置産業において技術開発と顧客満足を基盤として成長してきたと説明しています。自社の製品紹介はSpecialty Gas Supply SystemとChemical Supply Systemの2つの装置群を中心とし、プロセスガスと薬液の設備側供給を支えます。Specialty Gas Supply SystemにはBSGS、GAS CABINET、VMB、GAS MIXER SYSTEMが含まれ、Chemical Supply SystemにはCCSSとCDSが含まれます。また同社は、粘り強さと信念を通じて韓国内の半導体・ディスプレイ装置産業の成長と発展に貢献してきたことを示し、技術開発と顧客満足を重視しています。
展示製品
BSGS、すなわちBulk Specialty Gas Systemは、大容量容器に貯蔵された特殊ガスを汚染させずに供給し、大流量を長時間供給することで運用コスト管理とガス純度管理を支える装置です。供給方式はAuto Change Type、制御方式は全自動PLC & Touch Screen systemで、供給容器としてY-Cylinder、Tube Trailer、Tank Lorryに対応します。BSGSの仕様は300~3000 SLPM. (Max. Flow Rate@ N2 Gas)、供給圧力0.1~0.9 Mpa、装置寸法1500(w) x 570(d) x 1800(h) without Controller、重量350kg、色はWhite Gray EX4504(S)-SR-WH020です。機能には自動・手動運転、ガス特性に応じた安全装置、誤操作防止interlock、alarm機能とalarm history管理、防爆危険区域への設置、phase monitoring用通信が含まれます。GAS CABINETは小容量の特殊ガス供給用で、ガス漏れを感知する各種安全装置を備え、プログラム制御によって漏れを早期検知し、作業者の操作ミスを抑えながら安全に供給することを目的としています。仕様はAuto Change Type供給、全自動PLC & Touch Screen制御、49 Liter以下の容器、30 SLPM. (Max. Flow Rate@ N2 Gas)、供給圧力0.1~0.9MPa、寸法800(w) x 550(d) x 2200(h)、重量190kg、White Gray EX4504(S)-SR-WH020です。GAS CABINETには、操作のしやすさ、ガス特性安全装置、誤操作防止interlock、alarmとalarm history管理、防爆危険区域への設置、phase monitoring通信も示されています。VMB、すなわちValve Manifold Boxはガス供給装置からガスを受け取り、複数に分岐して工程設備へ供給し、工程設備が多い場合にはガス供給装置への投資を抑え、供給配管の増設と管理を容易にするものとして説明されています。VMBの各分岐には圧力調整装置とfilterが設けられ、工程で必要な圧力に調整したクリーンなガスを供給できます。VMBの仕様はInlet 1~2 & Outlet 4~12、半自動PLC & Touch Screen制御、1~100 SLPM、0.1~0.9 Mpa、寸法800(w) x 550(d) x 2200(h)、重量150~170kg、White Gray EX4504(S)-SR-WH020です。GAS MIXER SYSTEMは濃度分析計とMFCを組み合わせた全自動ガス混合システムで、正確な混合比を提供し、安全かつ確実にガスを混合して処理設備へリアルタイムに供給します。混合ガス濃度精度は±0.1％以内、全自動PLC & Touch Screen制御、80~200 Liter Tank、50~100 SLPM. (Max. Flow Rate@ N2 Gas)、供給圧力0.31MPaとされています。GAS MIXER SYSTEMにも操作のしやすさ、ガス特性安全装置、誤操作防止interlock、alarmとalarm history管理、防爆危険区域への設置、phase monitoring通信が含まれます。これらの特殊ガス製品に加え、KCのChemical Supply SystemにはCCSSとCDSがあり、半導体・ディスプレイ製造設備向けに特殊ガス供給と薬液供給の2系統を提供します。
対応領域・製品
- BSGS特殊ガス供給システム
- 特殊ガスGas Cabinet供給システム
- VMBガス分岐供給システム
- Gas Mixer自動ガス混合システム
- 薬液供給システム