基本情報
| ブース | K2186 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.em-technik.com.tw |
会社概要
EM-TECHNIK EAST ASIA LTD. の沿革は、1965 年に Ludwigshafen で設立され、創業当初から特殊プラスチックのみを用いた小呼び径のコネクターと継手の開発・生産に注力したことに始まります。この特殊プラスチック技術は実用分野で定着し、同社のモジュール式製品システムは非常に幅広い用途で使われるようになりました。同社は everything from a single source の考え方で、品質と信頼性を重視した製品を供給しています。長年にわたり複数の製品と製品ラインを開発し、市場で標準ソリューションとして定着したものもあります。EM-TECHNIK EAST ASIA LTD. は、今後も新しい市場課題と高まる顧客要求に合わせて製品と協力体制を変化させていくとしています。中核となる供給範囲には、工業用流体の取り扱いと接続に使用する特殊プラスチック製コネクターおよび継手が含まれます。
展示製品
半導体製造向けでは、EM-TECHNIK EAST ASIA LTD. は材料と流体関連製品の製造における清浄度と純度を特に重視しています。半導体向け製品にはコネクター、バルブ、ボールバルブ、流量計、フィルターが含まれ、加工材料には HP quality が指定されています。多くの製品は ISO 14644-1 Class 5 に従うクリーンルームで製造され、その後の洗浄と包装も管理された環境で行われます。同社はこうした管理された製造、洗浄、包装工程によって、半導体サプライチェーン全体の清浄基準を維持します。ウェハ洗浄は半導体製造で非常に頻繁な工程であり、小さな粒子や化学残留物が歩留まり低下やウェハ、場合によってはロット全体の損失につながるためです。ウェハは各工程でエッチング液、濡れ剤、photo resist などの化学物質に接触するため、工程後にはそれらを完全に除去する必要があります。加工、制御、測定装置の間を機械的に移動する際の摩擦も粒子を発生させる可能性があり、作業者や工程自体も粒子源となり得ます。洗浄工程では酸やその他の化学薬品も粒子を含まない状態で供給する必要があるため、化学流路に使われるコネクターなどにはより高い純度要求があります。同社は、これらの用途向け製品を ISO 14644-1 Class 5 を含む管理環境で製造し、資料では 2018 年以降の Class 7 にも言及しています。flare connectors は半導体用途の高い純度・清浄度基準に適合する具体例として示されています。具体的な製品には、flexible tube 接続で spacesaver/spacesaver/flare 構成の Series 1D T-spacesaver があります。また female G- または NPT-thread を持つ Series 6R の 3-way horizontal L-bore ball valve も含まれます。PFA 流体系では、Series 3K shut-off coupling がバルブと female G-thread を備え、spring と plug に TFM1600 を使用します。対応する Series 3K PFA shut-off nipple もバルブと female G-thread を備え、spring と plug に TFM1600 を使用します。これらの半導体用途は、単なる機械接続機能だけではなく、粒子管理、化学的清浄度、管理された製造と結び付いています。特殊プラスチック製コネクターと継手のポートフォリオは、同社が長年展開してきた小口径のモジュール式製品を、純度が重要な半導体工程へ展開するものです。
対応領域・製品
- 特殊プラスチック製コネクター・継手製造
- 半導体向けコネクター
- 半導体向けバルブ・ボールバルブ
- 半導体向け流量計・フィルター
- 高純度フレアコネクター
- 3方 L-bore ボールバルブ
- PFA シャットオフカップリング
- PFA シャットオフニップル