基本情報
| ブース | P5312 |
会社概要
Delta Electronics, Inc. は台湾に本社を置く企業で、その半導体事業は先端パッケージング組立装置、ウェハ搬送装置、デジタルツインソフトウェアを供給する。傘下の Universal Instruments を通じて、FuzionSC フリップチップおよびマルチダイ先端パッケージング組立プラットフォームを提供し、高速マルチダイウェハフィーダと組み合わせて高いフリップチップスループットを実現する。ウェハ搬送ラインには、砥石摩耗の事前診断センサーを内蔵したウェハエッジ研削機、ノッチ・フラット・面取りを計測する非破壊のウェハエッジプロファイル測定（AOI）機、平坦度と抵抗の測定、表裏面およびエッジ欠陥検査、レーザー刻印ウェハ ID 読み取り、赤外線ピンホール（ボイド）検出を行う高集積ウェハソーターが含まれる。DIATwin バーチャルマシンプラットフォームは、半導体装置向けのデジタルツイン開発を提供する。先端パッケージング組立装置、ウェハエッジ加工・計測、ウェハソーティング、装置デジタルツインソフトウェアの供給企業として位置づけられる。
対応領域・製品
- FuzionSC flip-chip および multi-die 先進パッケージング組立プラットフォーム
- flip-chip スループット向け高速 multi-die ウェハフィーダ
- notch、flat、chamfer 計測向け非破壊ウェハエッジプロファイル測定 (AOI)
- ウェハ notch、flat、chamfer 計測
- ウェハソーターによる平坦度および抵抗測定
- ウェハソート向け赤外線ピンホール (void) 検出
- ウェハ表面、裏面、エッジ欠陥検査
- レーザー刻印ウェハ ID 読み取り
- 半導体装置向け DIATwin 仮想マシン digital-twin プラットフォーム
- 砥石摩耗予兆診断センサ付きウェハエッジ研削装置