基本情報
| ブース | R7312 |
| 国 | KR |
| ウェブサイト | bnsr.co.kr/company/about |
会社概要
BNSRは国内外の顧客・協力企業と連携し、技術の統合と開発を通じてサービスを提供しています。半導体、物流、医療、人材管理の分野で、ICTと半導体プロセス診断のプラットフォームおよびソリューションを提供します。工程監視技術では、測定した装置データをデジタル化して可視化します。
展示製品
BNSRは静電チャック（ESC）とチャンバーの温度、およびプラズマ状態をリアルタイムで監視します。測定情報はデジタル化・可視化され、工程状態の把握に用いられます。半導体工程診断は、BNSRのICTプラットフォーム・ソリューション事業に含まれます。
対応領域・製品
- ESCリアルタイム温度監視
- チャンバーリアルタイム温度監視
- プラズマ状態リアルタイム監視
- プロセス計測データのデジタル化・可視化
- 半導体プロセス診断プラットフォーム・ソリューション