基本情報
| ブース | I2804 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.buhlergroup.com |
会社概要
Bühler Leybold OpticsはBühler GroupのAdvanced Materials分野に属する光学コーティングおよび真空コーティング装置事業です。同事業は薄膜真空コーティング技術の主要サプライヤーと自社を説明しています。また、170年以上の歴史を持つ世界的な高真空コーティング装置メーカーとしても説明されています。Bühler Leybold Opticsは2012年からBühler Group Advanced Materialsの一部です。装置・プロセスのポートフォリオは光学コーティングと大面積コーティングの両方に及びます。
展示製品
Bühler Leybold Opticsが挙げるコーティング技術には、マグネトロンスパッタリング、プラズマ化学気相成長（PECVD）、プラズマ支援蒸着が含まれます。装置ポートフォリオには、コーティング工程を支える機能として自動化、インテリジェントソフトウェア、光学モニタリングも組み込まれています。光学および大面積コーティングの用途には、レンズとレーザー関連製品が含まれます。航空宇宙用途もコーティング技術ポートフォリオの対象分野に含まれます。大面積コーティング市場では、建築用ガラスと自動車ヘッドライトが用途として挙げられています。包装とコンデンサも、同社のコーティング装置・工程の用途として挙げられています。IBSシリーズはイオンビームスパッタリングを用い、高精度コーティング要件向けに極低損失の光学コーティングを形成します。レーザー光学はIBS高精度光学コーティングの用途として明示されています。ジャイロスコープもIBSシリーズの低損失コーティング用途として挙げられています。計測と顕微鏡も、IBSシリーズとその高精度光学コーティングの用途として挙げられています。半導体用途について、Bühlerはコーティング装置を半導体要件に合わせて適応できるとしています。マグネトロンスパッタリングは、薄膜コーティング形成に用いる同社の真空コーティング技術の一つです。PECVDは、挙げられているスパッタリングと蒸着技術に加えて、プラズマ強化化学気相成長という技術ルートを製品群に加えます。プラズマ支援蒸着は、同じ高真空・薄膜技術範囲に別のコーティング工程を加えます。自動化、インテリジェントソフトウェア、光学モニタリングは、コーティング装置製品群の支援機能として挙げられています。この製品群は、コーティング形成から自動化、ソフトウェア、光学工程監視までを含み、光学、大面積、半導体関連用途をカバーします。挙げられた工程と用途により、高真空薄膜コーティング、光学コーティング、半導体要件に適応できるコーティング装置が同じ製品範囲に位置づけられます。IBSの用途として、レーザー光学、ジャイロスコープ、計測、顕微鏡の4つが高精度光学コーティング用途として個別に挙げられています。
対応領域・製品
- マグネトロンスパッタ成膜装置
- PECVD成膜装置
- プラズマ支援蒸着装置
- イオンビームスパッタ光学コーティング