基本情報
| ブース | L0923 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.atapowtech.com |
会社概要
ATA Engineering Corporationは、Process TechnologyのImmersion heaterおよびHigh Purity heater製品の台湾代理店として、同社の産業用加熱製品を取り扱っています。ヒーター事業は、半導体、FPD、MEMS、biomedical、Photovoltaicの各産業を対象としています。
展示製品
ATA Engineering Corporationは、Process TechnologyのHigh Purity Inlineヒーターとして、DI Water Heaters、Chemical heaters、Gas heatersを供給し、プロセス媒体に応じて異なる加熱方式を選べる構成を示しています。DI Water HeatersはChemical heatersおよびGas heatersと別々に記載されており、媒体が脱イオン水、薬液、ガスのいずれであるかに応じて製品分類を確認できます。Process TechnologyのImmersionヒーターも取り扱い、Inline製品とは異なる設置方式の加熱用途をカバーします。PTFEヒーターもImmersionおよびHigh Purity Inlineヒーターと並んで提供され、TYTAN、LUFRAN、TIH、HCQなどのInline製品に加えて選択肢を広げています。半導体関連では、ウェハ洗浄、半導体プロセス流体の加熱、wet benchの流体加熱が明示された用途です。超音波洗浄も用途として示されており、流体加熱だけでなく洗浄プロセスにも対応します。対象産業は半導体だけでなく、FPD、MEMS、biomedical、Photovoltaicの製造環境にも広がります。これらの環境では、ウェットプロセスのウェハ洗浄、医療機器部品の洗浄・滅菌、ろ過システム、液体加熱が用途として挙げられています。製品群にはTurbine空気圧バイブレーターも含まれ、ヒーター中心の構成に空気圧式の物料処理製品を加えています。RKV、RKD、RKVSの空気圧ハンマーも列挙され、3系列の名称が明確に示されています。さらに、米国Solimarのビンフルイダイザーを取り扱い、ビンなどの保管設備における物料の流動化用途に対応します。米国Airsweepの物料流動システムも供給範囲に含まれ、物料移動を支援する設備まで製品群を広げています。全体として、高純度Inline加熱、Immersion・PTFE加熱、空気圧振動、空気圧ハンマー、ビン流動化、物料流動システムを取り扱います。流体処理設備の利用者は媒体と設置方式でヒーターを選びながら、TYTAN、LUFRAN、TIH、HCQというProcess Technologyの製品群も確認できます。ヒーター製品と用途の組み合わせにより、ウェハ洗浄を含む半導体製造のウェットプロセスを直接カバーする供給内容となっています。
対応領域・製品
- 浸漬ヒーター・高純度ヒーター販売代理（Process Technology）
- DI Waterインラインヒーター供給（Process Technology）
- Chemicalインラインヒーター供給（Process Technology）
- Gasインラインヒーター供給（Process Technology）
- PTFE浸漬ヒーター供給
- タービン式空気振動機・エアハンマー供給
- サイロ流動化装置供給（Solimar）
- マテリアルフローシステム供給（Airsweep）