基本情報
| ブース | L0126 |
| 国 | TW |
| ウェブサイト | www.aqusen.com |
会社概要
AQUSEN Technology Co., Ltd.は台湾のセンサーおよびプロセス監視企業であり、半導体とパネル製造の運用ニーズに対応し、これらの産業向けSensor製品とSensorアプリケーションの開発に重点を置いている。同社は半導体分野の経験豊富な専門家によって設立され、ウエハ製造そのものではなく、製造現場におけるプロセスセンシングと監視を業務の中心に据えている。AQUSEN Technology Co., Ltd.は半導体・パネル産業のユーザーにセンサー製品、アプリケーション、サービス、ソリューションを提供しており、個別のセンシング製品だけでなく、生産環境での適用方法までを業務範囲としている。ソリューション分野にはプロセス監視、真空計測、プロセスガス監視、Plasma監視が挙げられ、半導体およびパネルのプロセスと設備を観察するための複数種類の情報を扱う。同社はプロセス、設備、センサーの知識を統合し、それを顧客の製造運用改善を支援する基盤としている。この統合型の取り組みにより、AQUSEN Technology Co., Ltd.は生産プロセスや設備周辺の状態をセンシングし、その監視技術を半導体・パネル顧客の運用ニーズに適用する役割を担う。開発の焦点は半導体およびパネル関連産業のニーズに向けたSensor製品とアプリケーションに明確に置かれている。
展示製品
AQUSEN Technology Co., Ltd.は、専門的な誠実さを基盤として、顧客の多様なニーズに適したタイムリーなソリューションプロバイダーとなり、製造プロセスの生産に影響を与えないことを使命としている。この使命のもと、同社は監視対象となる生産プロセスを妨げず、稼働中の製造環境に組み込める支援としてソリューションを位置付けている。半導体プロセス監視では、Satellite-Air 2をCVD、Diffusion、Etch工程向けのリアルタイム漏れ検知システムとして示している。Satellite-Air 2は、CVD、Diffusion、Etchという3つの明示された半導体工程で漏れ検知を行い、リアルタイムで動作するシステムとして説明されている。この製品はAQUSEN Technology Co., Ltd.の広いプロセス監視領域と整合し、別の製造機能ではなく、半導体プロセス装置周辺の漏れを即時に検知することに焦点を当てる。真空計測、プロセスガス監視、Plasma監視と合わせ、Satellite-Air 2は同社が半導体製造の運用向けに開発するセンシングおよび監視アプリケーションの一例となっている。
対応領域・製品
- 半導体・パネル向けSensor製品・アプリケーション開発
- CVD／Diffusion／Etch向けリアルタイム漏れ検知システム