基本情報
| ブース | S7145 |
| 国 | CN |
| ウェブサイト | www.aishengk.com |
会社概要
AISHENGKE (JIANGSU) CHEMICAL TECHNOLOGY CO., LTD.はASKとも表記され、常州を拠点に高純度半導体材料、CVD／ALD前駆体容器、関連サポートサービスを専門としています。専門R&Dチームと業界特許を有し、EPレベルのクリーン基準を厳格に順守し、世界の半導体顧客に製品とカスタムソリューションを提供するとしています。技術革新、安定品質、長期的で安定した協力、半導体顧客との共同発展を事業上の重点として掲げています。
展示製品
AISHENGKE (JIANGSU) CHEMICAL TECHNOLOGY CO., LTD.のMO／CVD／ALD前駆体保管・供給システムは、Atomic Layer DepositionとChemical Vapor Deposition工程で使う液体、気体、固体前駆体向けに設計され、現在および将来の多様な材料に安定したmass fluxを供給することを目的とします。製品カテゴリーにはCVD／ALD Delivery SystemとPressure vesselがあり、半導体材料事業における前駆体容器と供給ニーズに対応します。分子蒸留製品には実験室Short Path Distillation、Molecular Distillation System、分子蒸留用途装置、ガラス・ステンレスFractional Distillation Unit、Rotary evaporatorが含まれます。Wiped Film／Thin Film Evaporationは実験室、パイロット、連続生産規模を用意し、反応器は小型実験室、Pilot Glass Reactors System、Lifting Glass Reactor、Lifting Stainless Steel Reactor、Continuous Pilot-scale Reactorを含みます。Vacuum pump、Heating System、Cooling System、Refrigeration Heating Systemをオプションとして用意し、User Manual、Distributor Services、Sale service、Customized serviceも提供します。Molecular distillationはMolecular Stills、Short-Path Stills、Short-Path Evaporatorsとも呼ばれ、熱に敏感な材料を含む難しい熱分離に用いられます。原料は一定流量で垂直加熱円筒に入り、高真空下でワイパーにより乱流薄膜となり、揮発性の高い成分を効率よく蒸発させます。真空により温度を下げ、滞留時間を秒単位に短縮し、冷却条件でdistillateとresidueの2流を回収することで、劣化を抑えながら品質、収率、価値を維持する設計です。Borosilicate Glass Molecular Short Path Distillation Systemは、高い蒸発効率、さまざまな材料への対応、1～500 L/h能力が示されています。laboratory scale、pilot-scale、industrial scaleのshort-path distillation unitも用意され、研究、スケールアップ、工業生産に対応します。連続工業化装置はwiped-film evaporation systemとshort-path distillation systemを組み合わせ、顧客工程要件に応じてfiltration module、rectification moduleなどを追加できます。薄膜蒸発器は分子蒸留前に脱気、溶剤除去、小分子除去を行う前処理に使用でき、材料が蒸発室へ最初に入る際の飛散、flash evaporation、劣化、分離不良のリスクを低減します。この組み合わせは前処理によってshort-path distillationの生産効率を高めると説明されています。パイロット／工業short-path evaporation設備は、原料タンク、short-path still、cold trap、バルブ・配管、入口・出口ポンプ、二段真空システム、制御システムで構成され、主要設備材料は316L stainless steelです。Wiped Film Molecular Distillation Equipmentも分子蒸留製品カテゴリーとして明示され、wiped-film操作を他のshort-path構成と並べています。パイロット・工業用途向けにはstainless-steel vacuum wiped-film molecular-distillation systemがあり、主要設備は316L stainless steelです。製品群はLaboratory & Pilot Test & Continuous Short Path Distillation Unit/Systemとしても示され、実験室試験、パイロット試験、連続運転を明確にカバーします。Fractional distillationではglassとstainless-steelの両unitを用意し、Rotary evaporatorも別カテゴリーとして扱います。全体として、高純度半導体材料と前駆体容器、CVD／ALD供給、実験室・生産用蒸留、薄膜蒸発、分留、反応器、真空・温度制御オプション、顧客工程に応じたシステム構成を一体化しています。
対応領域・製品
- 高純度半導体材料供給
- CVD/ALD前駆体容器
- MO/CVD/ALD前駆体保管・供給システム
- 前駆体Pressure Vessel
- 分子蒸留装置
- 実験室短行程蒸留装置
- ガラス分留装置
- ステンレス分留装置
- ロータリーエバポレータ
- ワイプドフィルム／薄膜蒸発装置
- 実験室薄膜蒸発装置
- パイロット薄膜蒸発装置
- 連続生産薄膜蒸発装置
- ガラス反応器システム
- 小型実験室反応器
- パイロットガラス反応器システム
- 昇降ガラス反応器
- 昇降ステンレス反応器
- 連続パイロット反応器
- ホウケイ酸ガラス短行程分子蒸留システム
- ワイプドフィルム分子蒸留装置